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场发射扫描电子显微镜

( 2010-07-07 )
简介
 
型  号:Sirion200
厂  商:FEI
价  格:55万美元 
到货日期:2005年7月 
验收日期:
联系电话:63606441

主要性能指标
 
1.真空系统
  样品室极限真空度 3.7×10-6 mbar
2.分辨率
  3.5nm(500V);2.5nm(1KV);1.5nm(>10KV)
  放大倍数:74X—300000X
3.电子光学系统
  加速电压:0.2KV--30KV 
  电子枪:高稳定性In-house Schottky场发射型            
  物镜:强激励圆锥透镜  
4.试样台:共中心测角台自动驱动:
  X-Y方向移动范围:50mm 
  R:0—360o      
  Z:50mm   T :-15 — +75o
5.X射线能谱仪系统
  INCA能谱仪:Si(Li)探测器
  超ATW窗口,10mm2 活区. 
  分辨率(MnKa): 133eV.
  分析元素:Be4—U92 
6.CL谱
  波长范围:300~900nm

仪器使用范围
 
扫描电镜主要用于观察材料表面的微细形貌、断口及内部组织,并对材料表面微区成分进行定性和定量分析。

 

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