理化科学实验中心
 
仪器设备
仪器介绍
研究分析室
设备管理
更多>>学术活动
更多>>服务电话
您现在的位置:首页>仪器设备>仪器介绍

场发射扫描电子显微镜

( 2010-07-07 )
简介
 
型  号:JSM—6700F
厂  商:日本电子公司JEOL
到货日期:2001年10月
验收日期:2001年12月
联系电话:63606441

主要性能指标
 
1.场发射扫描电镜主机
  分辨率:  1nm(15KV);2.2nm(1KV)
  放大倍数:25×—6.5×105X
2.电子光学系统
  加速电压:0.5KV--30KV  探针电流:10-9 —10-13A
  电子枪: 冷阴极场发射型 物镜:  强激励圆锥透镜 
3.试样台
  共中心测角台自动驱动:X-Y 方向移动范围:70mm×50mm R:0—360o
  手动:Z:1.5mm—25mm  T :-5 — +60o
4.X射线能谱仪系统
  INCA 能谱仪:Si(Li)探测器
  超ATW窗口,10mm2 活区. 
  分辨率(MnKa): 133eV.
  分析元素:Be4—U92

仪器功能及附件
 
1.扫描成象功能
  成象信号采用二次电子、背散射电子成象  操作系统:Windows NT
2.X射线能谱仪功能
  数据处理和自动化控制、显微分析处理器系统。采用X 射线强度信号成象,作出样品中元素分布图,对样品元素成分作定性、定量分析。
3.附件
  离子溅射仪。

软件功能
 
INCA能谱仪软件包括:INCA导航器、专家系统、信息管理系统、实验报告系统、智能化元素分布图 象、智能化元素线分布、谱比较、谱收集、元素识别和标定、谱处理和显示、智能化谱重构、定 量分析、电镜条件设定、镜筒自动化控制、感兴趣区选择、特征王等。

仪器使用范围
 
扫描电镜主要用于观察材料表面的微细形貌、断口及内部组织,并对材料表面微区成分进行定性和定量分析,主要用途如下:
  无机或有机固体材料断口、表面形貌、变形层等的观察和机理研究
  金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分的鉴定
  观察陶瓷、混凝土、生物、高分子、矿物、纤维等无机或有机固体材料表面的形貌
  微型加工的表征和分析集成电路图形及断面尺寸,PN结位置,结区缺陷。
  金属镀层厚度及各种固体材料膜层厚度的测定。
  研究晶体的生长过程、相变、缺陷、无机或有机固体材料的粒度观察和分析
  进行材料表面微区成分的定性和定量分析,在材料表面做元素的面、线、点分布分析。

相关新闻
欲浏览最佳效果 建议你使用IE4.0版本以上的浏览器 屏幕设置为800*600 增强色16位
地址:安徽省合肥市金寨路96号中国科学技术大学理化科学实验中心