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高性能电子能谱仪

( 2010-07-07 )
简介
 
型  号:ESCALAB 250
厂  商:Thermo-VG Scientific
到货日期:2005年8月
验收日期:2005年9月
联系电话:63602806

主要性能指标
 
1.真空系统:样品制备室极限真空度 ≤5×10-10 mbar; 分析室极限真空度 ≤1×10-10 mbar
2.单色化XPS: 灵敏度: 1×106 cps @ 能量分辨率: 0.6 eV
3.非单色化XPS: 灵敏度: 7×105 cps @ 能量分辨率: 0.8 eV
4.XPS成像: 平行成像, 空间分辨率 3nm
5.UPS: 灵敏度: 1×106 cps/nA @ 费米边能量分辨率: 0.1 eV
6.ISS: 灵敏度: 3×104 CPS @ 能量分辨率:12 eV

仪器使用范围
 
电子能谱仪主要用于表面的成分分析和表面元素化学状态的分析,其主要使用范围如下:
1.半导体大规模,超大规模集成电路的研究。 
2.冶金工业中:寻求各种表面处理技术,以获得材料的特殊性能,如耐磨性、高硬度,耐腐蚀性等。 
3.固体化学;研究固体的表面吸附,表面反应和表面化学状态。 
4.材料科学:研究材料表面的成分和结构,探索表面性能。


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